根據(jù)基本原理干式真空泵可分為兩類(lèi)：一類(lèi)是體積式真空泵，如爪式泵、羅茨泵,、螺桿泵,、往復(fù)式活塞式干泵,、隔膜泵,、渦旋泵等,。

　　不同類(lèi)型的真空泵有不同的性能參數(shù)和適用場(chǎng)合,。例如,，無(wú)油隔膜泵主要用于實(shí)驗(yàn)室。

　　石化裝置干式真空泵主要是爪式真空泵和螺桿式真空泵,。此外,，由于羅茨泵在低壓下的時(shí)候壓縮較高，通常作為爪式真空泵的前泵形成羅茨爪式真空泵,，與純爪式真空泵相比,，可有效提高低壓下的真空泵速率。

　　在半導(dǎo)體產(chǎn)品的制造過(guò)程中,，所需要的真空系統(tǒng)需要具有去除腐蝕性氣體,、粉塵顆粒物、有毒氣體等這些功能,。因此,，油封機(jī)械泵不能滿(mǎn)足半導(dǎo)體行業(yè)的需要。在半導(dǎo)體行業(yè)的驅(qū)動(dòng)下,，干式真空泵出現(xiàn)于20世紀(jì)80年代,。由于目前下游集成電路、光伏,、LED等這些行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展和進(jìn)步,，干式真空泵的產(chǎn)品類(lèi)型也不斷增加，性能,、控制集成度等指標(biāo)參數(shù)也有比較明顯的提高,。截至目前，干式真空泵已用于發(fā)達(dá)國(guó)家的半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)。近年來(lái),，我國(guó)也出現(xiàn)了干式真空泵取代油泵的明顯趨勢(shì),。干式真空泵已基本用于國(guó)內(nèi)高端半導(dǎo)體行業(yè)。

　　干式真空泵工作時(shí),，無(wú)摩擦,，運(yùn)行平穩(wěn)，噪音低,，工作室無(wú)潤(rùn)滑油,。因此，干式真空泵可以去除大量的水蒸氣和少量的灰塵,。由于螺桿形成了螺距結(jié)構(gòu),，與等螺距結(jié)構(gòu)相比，極限真空更高,，功耗更低,，具有節(jié)能、免維護(hù)等優(yōu)點(diǎn),。是油封真空泵的更新產(chǎn)品,。

　　除了半導(dǎo)體行業(yè)之外，制藥,、化工,、食品行業(yè)對(duì)真空泵的需求量也是比較大的，在過(guò)去的時(shí)候很多行業(yè)使用油封機(jī)械泵會(huì)產(chǎn)生油污染,。近年來(lái),，國(guó)家高度重視環(huán)境保護(hù)，因?yàn)槭褂酶墒秸婵毡每梢栽诠ぷ髦袦p少油污染,，而且使用干式真空泵還可以實(shí)現(xiàn)溶解媒體的回收,，提高利用率，因此制藥,、化工,、食品等行業(yè)，用干式真空泵來(lái)取代原油封機(jī)械泵,，這些行業(yè)對(duì)干式真空泵有大量新的需求,。

　　干式真空泵是未來(lái)行業(yè)發(fā)展的趨勢(shì)。雖然目前使用不多,，但除了價(jià)格高之外,，用戶(hù)對(duì)干式真空泵了解不夠，看不到未來(lái)給企業(yè)帶來(lái)的經(jīng)濟(jì)效益,。然而,，干式真空泵使工作容量無(wú)油,，帶來(lái)了很多好處。

　　以上是淄博沃德氣體設(shè)備有限公司小編整理的干式真空泵的工作原理與目前的市場(chǎng)前景的相關(guān)內(nèi)容,，希望對(duì)您有所幫助,，淄博沃德期待您的來(lái)電與合作。