干式真空泵的非常廣泛,，五種形式都與它有一定的關系，不知道你們對這五種形式了解多少,，不了解也沒關系,，本文就介紹這五種形式的知識給大家。

　　一,、雙圓裂片式。

　　雙圓裂片式多級結(jié)構使氣路結(jié)構更加復雜,，每一級都需要流量較大的氮作為稀釋和隔離劑,。與此同時，為了獲得良好的真空度,，對各個級別的間隙要求都很嚴格,。這一設計當然是因為增加了內(nèi)部壓縮比，所以能耗相對較低,。

　　二,、三片圓裂片式。

　　三圓裂片式設計與上述形式設計的原理相同,，只是將氣體分成三份,，只需旋轉(zhuǎn)一圈，而不像雙圓裂片式分成兩份,。為進一步降低電力消耗,，在傳動部分有些廠家選擇了兩臺直流電機，但是這也會導致轉(zhuǎn)矩降低,，重啟能力下降,。

　　三、組合形式(羅茨+爪子)

　　組合(羅茨+爪子)設計采用羅茨提高低壓抽氣效率,，而采用爪子提高高壓抽氣效率,。原理和氣路與前面介紹的圓裂片設計相同。又有一些廠家把它的最后一級改為了星型設計,，這樣可以在一圈旋轉(zhuǎn)中把氣體分成五份,，就像三圓片的設計可以把它分成三份。

　　四,、外部壓縮型螺桿式

　　外接壓縮式螺紋設計,，采用一對等間距螺紋。這樣可以將內(nèi)部壓縮降至最低,，同時使氣體的路徑最短,，也最簡單。通過這種方式,，氣體在泵內(nèi)停留時間也最短,。這種設計在復雜的半導體工藝中顯示了很好的穩(wěn)定性,。

　　五、內(nèi)部壓縮型螺桿式

　　不斷減少螺桿之間的體積使螺桿內(nèi)部產(chǎn)生壓縮,。許多生產(chǎn)過程中,，這種內(nèi)部壓縮類似于多級泵，很容易導致氣體在泵內(nèi)發(fā)生物理和化學變化,，從而產(chǎn)生固化或液化,。

　　在以上介紹中，我們了解了干式真空泵的五種形式,，在以后的使用過程中,，我們可以根據(jù)自己的需要進行選擇。